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J-GLOBAL ID：200903044704452660

ポリベンゾオキサゾール前駆体、感光性樹脂組成物及び電子部品

Inventor： 佐々木 顕浩 ,  野村 豊
Applicant, Patent owner： 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002172884
Publication number (International publication number)：2004018593
Application date： Jun. 13, 2002
Publication date： Jan. 22, 2004
Summary：

【課題】ポリベンゾオキサゾール前駆体における良好なi線透過性とポリベンゾオキサゾール化後の低い比誘電率及び高耐熱性を有するポリベンゾオキサゾール前駆体、これを用いた感光性樹脂組成物及びこれを用いた電子部品を提供する。【解決手段】一般式(1) (式中、Xは2価の有機基であり、Yは4価の有機基であり、XとYの両方または一方はアダマンタン構造を主鎖に有する)で表される繰り返し単位を有するポリベンゾオキサゾール前駆体、これを用いた感光性樹脂組成物及びこれを用いた電子部品。【選択図】 なし

Claim (excerpt)：

一般式(1)

IPC (8)：

C08G73/22 ,  C08J5/18 ,  G03F7/004 ,  G03F7/037 ,  H01B3/30 ,  H01L21/027 ,  H01L21/312 ,  H01L21/768

FI (8)：

C08G73/22 ,  C08J5/18 ,  G03F7/004 503A ,  G03F7/037 ,  H01B3/30 H ,  H01L21/312 A ,  H01L21/30 502R ,  H01L21/90 S

F-Term (103)：

2H025AA10 ,  2H025AA13 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB26 ,  2H025CB45 ,  4F071AA60 ,  4F071AE22 ,  4F071AF30Y ,  4F071AF40Y ,  4F071AG05 ,  4F071AH12 ,  4F071BA02 ,  4F071BB02 ,  4F071BC02 ,  4J043PA02 ,  4J043PA04 ,  4J043PA19 ,  4J043QB34 ,  4J043RA52 ,  4J043SA06 ,  4J043SA71 ,  4J043SB01 ,  4J043TA12 ,  4J043TA42 ,  4J043TA45 ,  4J043TA47 ,  4J043TA66 ,  4J043TA67 ,  4J043TB01 ,  4J043UA022 ,  4J043UA032 ,  4J043UA041 ,  4J043UA042 ,  4J043UA052 ,  4J043UA081 ,  4J043UA082 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA262 ,  4J043UB021 ,  4J043UB022 ,  4J043UB061 ,  4J043UB121 ,  4J043UB122 ,  4J043UB151 ,  4J043UB152 ,  4J043UB161 ,  4J043UB162 ,  4J043UB301 ,  4J043UB302 ,  4J043UB312 ,  4J043UB401 ,  4J043UB402 ,  4J043VA021 ,  4J043VA022 ,  4J043VA031 ,  4J043VA042 ,  4J043VA061 ,  4J043VA062 ,  4J043VA082 ,  4J043XA13 ,  4J043XB26 ,  4J043XB28 ,  4J043YA06 ,  4J043ZA12 ,  4J043ZA42 ,  4J043ZA52 ,  4J043ZB11 ,  4J043ZB50 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ11 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ74 ,  5F033RR04 ,  5F033RR21 ,  5F033RR22 ,  5F033SS22 ,  5F033WW02 ,  5F033WW09 ,  5F033XX19 ,  5F033XX24 ,  5F058AA01 ,  5F058AA10 ,  5F058AB07 ,  5F058AC02 ,  5F058AC07 ,  5F058AF04 ,  5F058AH02 ,  5F058AH03 ,  5G305AA06 ,  5G305AA07 ,  5G305AA11 ,  5G305AB10 ,  5G305AB24 ,  5G305AB40 ,  5G305CA00 ,  5G305CA28 ,  5G305CD20