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J-GLOBAL ID：200903044715674648

多極子レンズ電子光学装置

Inventor： 山 崎 裕一郎 ,  三 好 元 介
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 佐藤 一雄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994175266
Publication number (International publication number)：1996045461
Application date： Jul. 27, 1994
Publication date： Feb. 16, 1996
Summary：

【要約】【目的】 フリンジ電界によるレンズ収差を縮減した多極子レンズ電子光学装置を提供する。【構成】 荷電粒子銃(1)から放出された荷電粒子ビーム(9)を複数の静電型多極子レンズ(11、13、15)によって集光するとともに、静電型多極子レンズ(15)の出口(19)を出た荷電粒子ビーム(9)を減速電界(ФR (z))によって減速させて試料台(17)上の試料へ照射する多極子レンズ電子光学装置において、静電型多極子レンズ(15)の出口(19)と試料台(17)との間に、荷電粒子ビーム(9)が通過する開口(30a)が形成され所定の調整電圧(VA )が印加される電位分布調整電極(30)を設けたことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

荷電粒子銃から放出された荷電粒子ビームを複数の静電型多極子レンズによって集光するとともに、前記静電型多極子レンズの出口を出た荷電粒子ビームを減速電界によって減速させて試料台上の試料へ照射する多極子レンズ電子光学装置において、前記静電型多極子レンズの出口と前記試料台との間に、荷電粒子ビームが通過する開口が形成され所定の調整電圧が印加される電位分布調整電極を設けたことを特徴とする多極子レンズ電子光学装置。

IPC (2)：

H01J 37/153 ,  H01J 37/04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭51-029091
  
• 特開昭51-040751