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J-GLOBAL ID：200903044733115753

真空装置用窓材の製造方法

Inventor： 大西 隆 ,  山本 正剛 ,  板山 克広 ,  池田 貢基 ,  久本 淳
Applicant, Patent owner： 株式会社神戸製鋼所
Agent (1)： 植木 久一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995256585
Publication number (International publication number)：1997095773
Application date： Oct. 03, 1995
Publication date： Apr. 08, 1997
Summary：

【要約】【課題】 熱・プラズマCVD装置等の真空装置におけるマイクロ波導入用の窓材について透明性や耐熱性を損なうことなく耐弗素プラズマ性を改善する。特に常に安定して優れた耐ハロゲン系ガス腐食性及び耐ハロゲン系プラズマ腐食性を発揮することのできるコーティング膜の製造方法の提供を目的とする。【解決手段】 チャンバー内に腐食性ガスが存在する真空装置における透明セラミック製窓材を製造するに当たり、Arを主成分とし、O2 ガス混入量が5atm%以下である放電ガス中で、Al2 O3 よりなるターゲット材を用い、高周波マグネトロンスパッタリング法によってコーティングする。

Claim (excerpt)：

チャンバー内に腐食性ガスが存在する真空装置における透明セラミックス製窓材を製造するに当たり、Arを主成分とし、O2 ガス混入量が5atm%以下である放電ガス中で、Al2 O3 よりなるターゲット材を用い、高周波マグネトロンスパッタリング法によってコーティングすることを特徴とする真空装置用窓材の製造方法。

IPC (3)：

C23C 14/18 ,  C04B 41/87 ,  H01L 21/31

FI (3)：

C23C 14/18 ,  C04B 41/87 F ,  H01L 21/31