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J-GLOBAL ID：200903044736505854

気相法ダイヤモンドの合成法及び合成装置

Inventor： 小巻 邦雄 ,  嵐田 興司
Applicant, Patent owner： 昭和電工株式会社
Agent (1)： 寺田 實
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993208021
Publication number (International publication number)：1995061896
Application date： Aug. 23, 1993
Publication date： Mar. 07, 1995
Summary：

【要約】【目的】 気相法ダイヤモンドの高速かつ均一な析出を目的とする。【構成】 熱フィラメントの一部又は全てを炭化したタンタルフィラメントを励起源として高速に原料ガスを接触させる。

Claim (excerpt)：

熱フィラメントを励起手段として用いる気相法ダイヤモンドの合成法において、フィラメントとしてその一部又は全てを炭化したタンタルフィラメントを励起源とし、ダイヤモンド合成用、原料気体を流速1m/sec以上で接触させる事を特徴とする気相法ダイヤモンドの合成法。

IPC (3)：

C30B 29/04 ,  C23C 16/26 ,  H01L 21/205