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J-GLOBAL ID:200903044754687692

セラミックスまたは金属の膜もしくは焼結体の製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 矢葺 知之 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996079855
Publication number (International publication number):1997268379
Application date: Apr. 02, 1996
Publication date: Oct. 14, 1997
Summary:
【要約】【課題】 本発明は、表面が平滑なセラミックス・金属等の膜・焼結体を高速で製造し、傾斜組成材においても各部の組織制御を十分に行う方法を提供する。【解決手段】 微粒子をガス流と共に吹き付けるノズル2と高温ガス噴出ノズル4を基板・基材のずれた地点へ向け設置し、これら二つのガス流を実質上交叉させず、基板・基材1上にて微粒子成形体6形成後、高温ガス流5を吹き付け焼結を行い平滑な膜または焼結体7を得る。
Claim (excerpt):
セラミックスまたは金属の膜または焼結体の製造方法において、微粒子噴出ノズルと高温ガス噴出ノズルの二つのノズルを基板または基材等の異なる地点へ向け設置し、微粒子噴出ノズルからセラミックスまたは金属の微粒子をガス流と共に基板または基材の表面へ吹き付け、基板または基材を移動させることにより、高温ガス噴出ノズルからの高温ガスを微粒子付着地点へ吹き付け、かつ、これら二つのノズルから噴出するガス流は実質上異なる二つのガス流を形成させ、基板または基材上へ吹き付けた微粒子を焼結させることを特徴とするセラミックスまたは金属の膜もしくは焼結体の製造方法。
IPC (4):
C23C 24/08 ,  B22F 3/00 ,  B22F 3/10 ,  B22F 7/04
FI (4):
C23C 24/08 C ,  B22F 3/00 A ,  B22F 7/04 A ,  B22F 3/10 A
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1)
  • 特開平2-165884

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