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J-GLOBAL ID：200903044769426623

圧電素子

Inventor： 神野 伊策 ,  藤井 覚 ,  鎌田 健 ,  ▲高▼山 良一
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 東島 隆治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997006801
Publication number (International publication number)：1998209517
Application date： Jan. 17, 1997
Publication date： Aug. 07, 1998
Summary：

【要約】【課題】 小型で、良好な圧電特性を示す圧電素子を提供する。【解決手段】 厚さが0.05〜100μmの箔状で、主として鉛、チタンおよびジルコニウムを含み、ペロブスカイト構造を有する酸化物からなる圧電体と、圧電体の対向する両面にそれぞれ形成された一対の電極と、一対の電極のうちの一方の電極の表面に形成された厚さが0.05〜500μmの圧電性を示さない被覆層を具備する。

Claim (excerpt)：

厚さが0.05〜100μmの薄膜状の圧電体と、前記圧電体の対向する両面にそれぞれ形成された一対の電極と、前記一対の電極のうちの一方の表面に形成された厚さが0.05〜500μmの圧電性を示さない被覆層を具備する圧電素子。

IPC (5)：

H01L 41/09 ,  G01L 1/16 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/187 ,  H02N 2/00

FI (5)：

H01L 41/08 C ,  G01L 1/16 ,  H02N 2/00 B ,  H01L 41/08 Z ,  H01L 41/18 101 D