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J-GLOBAL ID：200903044797486950

自動工作機械の運動精度測定方法及びその装置

Inventor： 豊田 幸司 ,  後藤 充夫 ,  中村 収 ,  谷村 吉久 ,  伊勢 徹 ,  真田 友宏
Applicant, Patent owner： 工業技術院長 ,  株式会社東京精密
Agent (2)： 工業技術院計量研究所長 (外1名) ,  松浦 憲三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994030115
Publication number (International publication number)：1995239209
Application date： Feb. 28, 1994
Publication date： Sep. 12, 1995
Summary：

【要約】【目的】自動工作機械の運動精度を広い範囲に渡って短時間で測定でき、且つ加工中でも測定できる自動工作機械の運動精度測定方法及びその装置を提供する。【構成】自動工作機械10の工具取付け軸14の先端部近傍に反射体24を取り付ける一方、この反射体24を追尾し、その追尾する反射体24の移動量を測定する複数の追尾式レーザ干渉計22を所定位置に設ける。そして、工具取付け軸14を制御部の指令情報にもとづいて駆動して反射体24を指定位置に移動させるように工具取付け軸14を動作させると共に、移動する反射体24を所定位置に配設した複数の追尾式レーザ干渉計22で追尾して反射体24の移動量を測定する。そして、測定した移動量から算出される反射体24の移動後の位置と指令情報による反射体24の指定位置を比較することにより、運動精度を測定する。

Claim (excerpt)：

自動工作機械の運動精度を測定する自動工作機械の運動精度測定方法に於いて、前記自動工作機械の工具取付け軸に反射体を固定し、前記反射体を追尾して、その追尾する反射体の移動量を測定する複数の追尾式レーザ干渉計をそれぞれ所定位置に固定し、前記反射体が指定位置に移動するように前記工具取付け軸を動作させると共に、前記移動する反射体を前記追尾式レーザ干渉計で追尾して反射体の移動量を測定し、前記測定した移動量から算出した前記反射体の移動後の位置と前記指定位置を比較することによって運動精度を測定することを特徴とする自動工作機械の運動精度測定方法。

IPC (4)：

G01B 11/00 ,  B23Q 17/24 ,  G01B 9/02 ,  G01B 21/00