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J-GLOBAL ID：200903044842103404

レンズ移動装置

Inventor： 小山内 英司
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997019601
Publication number (International publication number)：1998206714
Application date： Jan. 20, 1997
Publication date： Aug. 07, 1998
Summary：

【要約】【課題】 傾斜可能角度とラジアル方向の軸受剛性の少なくとも一方、および光軸方向のストロークと位置決め精度の少なくとも一方をそれぞれの他方を損なうことなく向上させる。【解決手段】 レンズ光路を遮らないように開口部を有する台盤1と、台盤に立設された支持手段2と、この支持手段の支持面に対向する案内面を有するレンズ保持盤3と、前記支持面と前記案内面を互に非接触に支持する静圧軸受手段7と、前記レンズ保持盤を前記支持面に平行な軸に沿って移動させる駆動手段とを有するレンズ移動装置において、前記駆動手段は複数個5a〜5cを前記レンズ台盤に個別に支持する。

Claim (excerpt)：

レンズ光路を遮らないように開口部を有する台盤と、台盤に立設された支持手段と、該支持手段の支持面に対向する案内面を有するレンズ保持盤と、前記支持面と前記案内面を互に非接触に支持する静圧軸受手段と、前記レンズ保持盤を前記支持面に平行な軸に沿って移動させる駆動手段とを有し、前記駆動手段が前記台盤に個別に支持された複数個の駆動装置を備えていることを特徴とするレンズ移動装置。

IPC (4)：

G02B 7/02 ,  G02B 7/04 ,  G03F 7/20 504 ,  H01L 21/027

FI (5)：

G02B 7/02 A ,  G02B 7/02 C ,  G03F 7/20 504 ,  G02B 7/04 E ,  H01L 21/30 515 D