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J-GLOBAL ID：200903044845214118

機能水製造方法及び装置

Inventor： 山下 幸福
Applicant, Patent owner： オルガノ株式会社
Agent (1)： 赤塚 賢次 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999169175
Publication number (International publication number)：2000354857
Application date： Jun. 16, 1999
Publication date： Dec. 26, 2000
Summary：

【要約】【課題】 掃引ガスとして窒素を使用せず、且つ真空ポンプの容量を増大させることなくそのままで脱ガス効率を向上させることのできる機能水製造方法を提供すること。【解決手段】 純水又は超純水中の溶存ガスを掃引ガスが供給される脱ガス用気液分離膜にて除去し、次いで、脱ガスされた純水又は超純水中に有効ガスを溶解させて機能水を製造する方法において、前記掃引ガスと前記有効ガスが同一ガスである機能水製造方法。

Claim (excerpt)：

純水又は超純水中の溶存ガスを掃引ガスが供給される脱ガス用気液分離膜にて除去し、次いで、脱ガスされた純水又は超純水中に有効ガスを溶解させて機能水を製造する方法において、前記掃引ガスと前記有効ガスが同一ガスであることを特徴とする機能水製造方法。

IPC (4)：

C02F 1/20 ,  B01F 1/00 ,  C01B 5/00 ,  H01L 21/304 648

FI (4)：

C02F 1/20 Z ,  B01F 1/00 A ,  C01B 5/00 Z ,  H01L 21/304 648 F

F-Term (9)：

4D037AA08 ,  4D037AB11 ,  4D037AB18 ,  4D037BA23 ,  4D037BB07 ,  4D037BB09 ,  4D037CA12 ,  4G035AA01 ,  4G035AE13