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J-GLOBAL ID：200903044859902793
露光システムおよび基板搬送方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996278616
Publication number (International publication number)：1998106939
Application date： Oct. 01, 1996
Publication date： Apr. 24, 1998
Summary：
【要約】【課題】 ミラーやレンズ等の光学部材の曇りを防止する。【解決手段】 露光装置本体と、これが内部に配置されたチャンバと、このチャンバの空調を行なう空調機室と、前記露光装置に隣接して配置されウエハ等の被露光基板の感光剤の塗布、露光および現像を自動化させるコータやデベロッパ等の基板処理装置とを備えた露光システムにおいて、前記露光装置と基板処理装置間で被露光基板の受け渡しを行なう経路中でガス状化学物質を除去する。
Claim (excerpt)：
露光装置本体と、これが内部に配置されたチャンバと、このチャンバの空調を行なう空調機室と、被露光基板への感光剤塗布および現像を行なう基板処理装置とを備えた露光システムにおいて、前記基板処理装置と前記露光装置本体とを接続する前記被露光基板の搬送経路上に、搬送中の被露光基板の雰囲気中に含まれるガス状化学物質を除去する装置を設けたことを特徴とする露光システム。
IPC (2)：
FI (3)：
H01L 21/30 502 J
, H01L 21/68 A
, H01L 21/30 503 G
