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J-GLOBAL ID：200903044871323324
バンプ高さ測定方法及び装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
松浦 憲三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995029130
Publication number (International publication number)：1996219722
Application date： Feb. 17, 1995
Publication date： Aug. 30, 1996
Summary：
【要約】【目的】異種材料で形成されたバンプの高さを高速で測定できるバンプ高さ測定方法及び装置を提供する。【構成】バンプ54が形成されているワークWを白色光源12を用いた光学干渉計のもとに置き、PZT20で参照鏡18を光軸方向に移動して、前記バンプ54上面が前記光学干渉計の可干渉範囲外となる第1の所定位置にする。この位置での画像をカメラ26で撮像し、得られた第1の画像データをメモリ28に記憶する。続いて、PZT20によって前記参照鏡18を第2の所定位置に移動し、この位置で第2の干渉縞の画像データを得た後、前記第1の画像データに基づいて干渉縞強度を各画素毎に算出し、所定の領域内についての平均値を求める。該第2の所定位置においてバンプ位置が干渉計の可干渉範囲内にある場合は、該バンプ54によるスペックルが検出され、前記干渉縞強度の平均値が大きくなり、一方、バンプ位置が干渉計の可干渉範囲外にある場合は、前記干渉縞強度の平均値は小さくなる。従って、前記平均値の大小に基づいてバンプ高さの測定を高速に行うことができる。
Claim (excerpt)：
第1の材料の上に、前記第1の材料と異なる第2の材料からなるバンプが形成されているワークについて、該バンプの高さを判別するバンプ高さ測定方法において、スペクトル幅の広い光源を用いた光学干渉計と、前記ワーク又は参照面を光軸方向に移動する移動手段と、前記移動手段により移動した前記ワーク又は参照面の位置の移動量を検出する位置移動量検出手段と、前記移動手段による前記ワーク又は前記参照面の位置の移動に伴って発生する干渉縞を撮像する撮像手段と、前記撮像手段で得られた画像データを基に、ワークの各測定点毎に干渉強度を検出する干渉強度検出手段とを用い、前記バンプの高さ方向を測定する基準となる高さ基準値に基づいて前記バンプ上面が前記光学干渉計の可干渉範囲外の位置になるように前記ワーク又は前記参照面を第1の所定位置に移動し、前記第1の所定位置における第1の画像データをメモリに記憶し、その後、前記移動手段により前記ワーク又は前記参照面を前記バンプ高さ方向の第2の所定位置に移動し、該第2の所定位置での第2の干渉縞の画像データと前記第1の画像データとから各画素毎に干渉縞強度を算出し、これの所定領域内についての平均値を求め、前記干渉縞強度の平均値が一定の値よりも大きい場合には前記第2の所定位置の所定範囲内にバンプ高さがあると判別し、前記干渉縞強度の平均値が前記一定の値以下の場合には前記第2の所定位置の所定範囲外にバンプ高さがあると判別することを特徴とするバンプ高さ測定方法。
IPC (2)：
FI (2)：
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