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J-GLOBAL ID：200903044897415391
走査型プローブ顕微鏡用の探針ホルダ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
青木 健二 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997052929
Publication number (International publication number)：1998253641
Application date： Mar. 07, 1997
Publication date： Sep. 25, 1998
Summary：
【要約】【目的】探針ホルダまで電子衝撃による加熱を行わなく、小さい電力で探針のみを電子衝撃により十分に加熱する。【構成】探針ホルダ1は、探針固定用ナット4の表面にセラミックコーティング部11が形成されている。ホルダ本体3の探針保持部3aの溝孔に探針2を挿入した後、この探針用固定ナット4を探針保持部3aに締結することで、探針2が探針保持部3aに保持される。したがって、フィラメントから放出された熱電子は、探針固定用ナット4の表面がセラミックコーティング部11で覆われているため、熱電子のほとんどは探針2のみに衝突し、この電子衝撃により、探針2のみが効率よく高温に加熱される。しかも、セラミックコーティング部11は熱伝導率が悪いので、探針保持部3aおよび探針固定用ナット4を通して探針2の熱が逃げ難くなるので、探針2のみを更に一層効果的に高温にすることができる。
Claim (excerpt)：
探針を熱電子衝撃により加熱することができるように保持する走査型プローブ顕微鏡用の探針ホルダにおいて、前記探針を保持する探針保持部を有するホルダ本体と、このホルダ本体の少なくとも前記探針保持部を覆う電気絶縁部と、前記探針と前記ホルダ本体とを固定するための固定手段とを備えていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用の探針ホルダ。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 37/00 C
, G01B 21/30 Z
