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J-GLOBAL ID：200903044935760979

空間光変調素子およびその製造方法

Inventor： 滝本 昭雄 ,  朝山 純子 ,  秋山 浩二 ,  藏富 靖規 ,  小川 久仁 ,  田中 幸生
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992125846
Publication number (International publication number)：1993323359
Application date： May. 19, 1992
Publication date： Dec. 07, 1993
Summary：

【要約】【目的】 高解像度で高輝度、大画面の映像を映し出す投写型ディスプレイ装置にとって、読み出し光強度が強くできる空間光変調素子を提供する。また単純な構成と少ない工程で素子を作製できる方法を提供する。【構成】 少なくとも光導電層107と液晶層111、及びそれらの層間の同一平面内に微小形状に分割された金属反射膜109とで構成される空間光変調素子において、金属からなる出力遮光膜108が前記微小形状の金属反射膜109とは異なる平面内に設ける構造とする。透明導電性電極を被覆した透明絶縁性基板に光導電層107を成膜し、一様に第1の金属反射膜を成膜し、フォトリソグラフィ-によって微小形状のパタ-ンを成形した後、この微小形状の金属反射膜をマスクとして光導電層をエッチングし段差を設け、第2の金属反射膜を全面に成膜することで出力遮光膜108を形成する。

Claim (excerpt)：

少なくとも光導電層と液晶層、及びそれらの層間の同一平面内に微小形状に分割された金属反射膜とで構成される空間光変調素子において、金属からなる出力遮光膜が前記微小形状の金属反射膜とは異なる平面内にあることを特徴とする空間光変調素子。

IPC (2)：

G02F 1/135 ,  G02F 1/13 505

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭58-034435
  
• 特開昭62-169120