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J-GLOBAL ID:200903044944572123
弾性表面波フィルタ
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
清水 守 (外3名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991300166
Publication number (International publication number):1993275963
Application date: Nov. 15, 1991
Publication date: Oct. 22, 1993
Summary:
【要約】【目的】 弾性表面波フィルタのパッシベーション膜のボンディング部の密着不良をなくし、その耐湿性の向上を図り得る弾性表面波フィルタを提供する。【構成】 圧電基板10上にすだれ状電極を形成し、その上に絶縁物によるパッシベーション膜を有する弾性表面波フィルタにおいて、前記すだれ状電極11のボンディング部に位置するパッシベーション膜としてのSiO2 膜12の縁部をCr/Auパッド電極15で挟むようにして幅S2 オーバーラップさせる。
Claim (excerpt):
圧電基板上にすだれ状電極を形成し、その上に絶縁物によるパッシベーション膜を有する弾性表面波フィルタにおいて、前記すだれ状電極のボンディング部に位置する前記パッシベーション膜の縁部をパッド電極で挟むようにしてオーバーラップさせるようにしたことを特徴とする弾性表面波フィルタ。
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