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J-GLOBAL ID:200903044956750000
金属酸化物構造体及びその製造方法
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
,
Agent (1):
鳴井 義夫 (外3名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999292504
Publication number (International publication number):2001114600
Application date: Oct. 14, 1999
Publication date: Apr. 24, 2001
Summary:
【要約】【課題】 ある特定の大きさからなる複数の金属酸化物微結晶からなる金属酸化物構造体、特に光放出素子として好ましく用いられる構造体及びその製造方法を提供すること。【解決手段】 断面の円換算径0.01〜100μmであり、基板からエピタキシャル成長した複数の金属酸化物微結晶からなる金属酸化物構造体及び揮発性または昇華性を有する少なくとも1種の金属化合物であって、少なくとも1種の酸化物形成物質と反応して該金属酸化物に反応する金属酸化物を形成することが可能な金属化合物を気化させて金属化合物気体を得、得られた金属化合物気体を該酸化物形成物質を含んだ反応帯域に置かれた基材上で反応させることを特徴とする前記金属酸化物構造体の製造方法。
Claim (excerpt):
断面の円換算径が0.01〜100μmであり、基板からエピタキシャル成長した複数の金属酸化物微結晶からなる金属酸化物構造体。
IPC (2):
FI (2):
C30B 29/62 A
, C23C 16/40
F-Term (17):
4G077AA03
, 4G077AB09
, 4G077BB01
, 4G077BB03
, 4G077BB04
, 4G077BB07
, 4G077BB09
, 4G077BB10
, 4G077DA11
, 4K030AA11
, 4K030BA42
, 4K030BA43
, 4K030BA44
, 4K030BA45
, 4K030BA46
, 4K030BA47
, 4K030BB02
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