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J-GLOBAL ID:200903044961299007
水素透過構造体およびその製造方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
深見 久郎 (外4名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001039477
Publication number (International publication number):2002239351
Application date: Feb. 16, 2001
Publication date: Aug. 27, 2002
Summary:
【要約】【課題】 厚みが1μm以下の水素透過性膜を多孔質の基材上にピンホールのない緻密な膜として形成する。【解決手段】 水素透過構造体3は、多孔質の基材2と、基材2と蒸着原料との間に電位差をパルス的に印加してイオンプレーティング法で基材2の表面上に形成された厚みが1μm以下の水素透過性膜1とを備える。
Claim (excerpt):
多孔質の基材を準備する工程と、前記基材と蒸着原料との間に電位差をパルス的に印加してイオンプレーティング法で前記基材の表面の上に厚みが1μm以下の水素透過性膜を形成する工程とを備えた、水素透過構造体の製造方法。
IPC (4):
B01D 69/02
, B01D 53/22
, B01D 71/02 500
, H01M 8/06
FI (4):
B01D 69/02
, B01D 53/22
, B01D 71/02 500
, H01M 8/06 G
F-Term (9):
4D006GA41
, 4D006MA31
, 4D006MC02X
, 4D006MC03X
, 4D006NA31
, 4D006NA32
, 4D006PB66
, 5H027BA01
, 5H027BA16
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