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J-GLOBAL ID:200903044969256366
マグネシア単結晶基板及びマグネシア単結晶
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
三枝 英二 (外10名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998157903
Publication number (International publication number):1999349399
Application date: Jun. 05, 1998
Publication date: Dec. 21, 1999
Summary:
【要約】【課題】特に耐水和性に優れたMgO単結晶基板を提供する。【解決手段】CaO1000ppm以下、SiO2400ppm以下であって、かつ、CaO/SiO2重量比が12以下であるマグネシア単結晶基板。
Claim (excerpt):
CaO1000ppm以下、SiO2400ppm以下であって、かつ、CaO/SiO2重量比が12以下であるマグネシア単結晶基板。
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