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J-GLOBAL ID：200903044969256366

マグネシア単結晶基板及びマグネシア単結晶

Inventor： 柿田 進一 ,  小原 明 ,  岩田 昭
Applicant, Patent owner： 第一稀元素化学工業株式会社
Agent (1)： 三枝 英二 (外10名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998157903
Publication number (International publication number)：1999349399
Application date： Jun. 05, 1998
Publication date： Dec. 21, 1999
Summary：

【要約】【課題】特に耐水和性に優れたMgO単結晶基板を提供する。【解決手段】CaO1000ppm以下、SiO2400ppm以下であって、かつ、CaO/SiO2重量比が12以下であるマグネシア単結晶基板。

Claim (excerpt)：

CaO1000ppm以下、SiO2400ppm以下であって、かつ、CaO/SiO2重量比が12以下であるマグネシア単結晶基板。