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J-GLOBAL ID:200903044971006130

発光素子及びその作製方法、並びに光集積素子

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 山本 孝久
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994133591
Publication number (International publication number):1995321417
Application date: May. 24, 1994
Publication date: Dec. 08, 1995
Summary:
【要約】【目的】不所望の結晶面が化合物半導体結晶層に形成されても、素子特性に悪影響を与えることがない発光素子を提供する。【構成】化合物半導体基板10の{111}B面上に形成された化合物半導体結晶層20から成る発光素子であって、化合物半導体結晶層20は、発光領域22及び突起領域24,26から成り、発光領域22は、化合物半導体基板の<2,-1,-1>方向と直角の方向に{0,-1,-1}面22A及び{0,1,1}面22Cを有し、一方、化合物半導体基板の<0,1,-1>方向と直角の方向に{0,1,-1}面22B及び{0,-1,1}面22Dを有し、これらの{0,1,-1}面22B及び{0,-1,1}面22Dは光射出面に相当し、突起領域24,26は、光射出面22B,22Dの近傍の発光領域22から、化合物半導体基板の<-2,1,1>方向に向かって延びている。
Claim (excerpt):
化合物半導体基板の{111}B面上に形成された化合物半導体結晶層から成る発光素子であって、該化合物半導体結晶層は、発光領域及び突起領域から成り、該発光領域は、化合物半導体基板の<2,-1,-1>方向と直角の方向に{0,-1,-1}面及び{0,1,1}面を有し、一方、化合物半導体基板の<0,1,-1>方向と直角の方向に{0,1,-1}面及び{0,-1,1}面を有し、これらの{0,1,-1}面及び{0,-1,1}面は光射出面に相当し、該突起領域は、該光射出面の近傍の発光領域から、化合物半導体基板の<-2,1,1>方向に向かって延びていることを特徴とする発光素子。
IPC (4):
H01S 3/18 ,  H01L 27/15 ,  H01L 31/10 ,  H01L 33/00

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