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J-GLOBAL ID:200903044971112533

共焦点の顕微分光計システム

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 野河 信太郎
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999010991
Publication number (International publication number):1999316344
Application date: Feb. 13, 1998
Publication date: Nov. 16, 1999
Summary:
【要約】【課題】 赤外線測定のされている間に対象物像を観察することができ、かつ焦点合わせ手段によって試料の焦点を連続的に調節する手段を提供する、同時に可視像観察と赤外線検出とができる特徴を持った顕微鏡を提供する。【解決手段】 赤外線源17によって発生される赤外線ビーム16は、試料面42から横断状に進む光路と実質的に同じ光路をたどって試料面42に至る。ビームスプリッタ130は、ビーム20の実質的に半分を遮蔽し、その残りを開口26を通って集束させるための曲面鏡22へ通過させる。その結果、ビームは球面鏡28によって再び平行にされる。反射面32は、平行にされた赤外線ビーム30を二色性要素36へ反射させる。二色性要素36は試料面42の上に集束させるためのレンズ40へ同ビームを順次、反射させる。
Claim (excerpt):
赤外ビームと第1可視ビームとを受けるための入口窓と、この入口窓からの赤外ビームと第1可視ビームとを受けて、その赤外ビームで試料面の第1部分を照射するためにその赤外ビームと第1可視ビームとを試料面へ指向させ、その試料面の第1部分をその第1可視ビームで照らすための第1光学要素と、第2可視ビームを受けるための可視ビームインプット部と、この可視ビームインプット部からの第2可視ビームを受けて、その第2可視ビームを試料面へ指向させ、前記第1部分の少なくとも一部を含んだ、試料面の第2部分を照らすための光学要素と、試料面を第1可視ビームと第2可視ビームとで照らすことにより生じる、試料面の第1部分の可視像と試料面の第2部分の可視像とを同時に受けるための観察部とを備えてなり、試料面上に置かれた試料にエネルギーを持ったビームの照射による透過及び反射スペクトロメトリーを行うための顕微鏡。
IPC (3):
G02B 21/00 ,  G01N 21/27 ,  G01N 21/35
FI (3):
G02B 21/00 ,  G01N 21/27 E ,  G01N 21/35 Z

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