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J-GLOBAL ID:200903044985030319

真空ポンプ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 京本 直樹 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993158491
Publication number (International publication number):1995012087
Application date: Jun. 29, 1993
Publication date: Jan. 17, 1995
Summary:
【要約】【目的】冷却水によりケーシング内に錆が発生し、冷却水が流れずポンプが停止するのを防ぐ。また、ポンプをコンパクトにし、用力の数を減らす。【構成】ポンプの冷却をする冷却媒体を不活性ガス9で行い、冷却することにより熱を吸収して温められた不活性ガス10をローター隙16へ吹き出すための不活性ガス吹き出し口17をケーシング1に設けている。
Claim (excerpt):
真空ポンプの冷却媒体として不活性ガスを使用することと、ポンプを冷却し、ポンプの熱を吸収することにより温められた不活性ガスをケーシングからローター部へ向けて吹き出すための通路のをケーシングに設けたことを特徴とする真空ポンプ。

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