Pat

J-GLOBAL ID：200903045020912919

走査電子顕微鏡の試料ホルダ

Inventor： 中村 久美
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 渡辺 敬介 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999263273
Publication number (International publication number)：2001084939
Application date： Sep. 17, 1999
Publication date： Mar. 30, 2001
Summary：

【要約】【課題】 試料台を取り付け易く、且つ、試料台が脱落したり、ずれたりにくい構成の走査電子顕微鏡用の試料ホルダを提供する。【解決手段】 試料を固定して回転する走査電子顕微鏡の試料ホルダにおいて、回転軸に平行方向に、試料台2の対向する両端部を収容して試料台を保持する溝6を有し、且つ、試料台2を溝6に押し当てて固定する板バネ4を有し、溝6間の最大距離L1が試料台2の幅L2より大きく、溝6間の最小距離L3が試料台の幅L2より小さいことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

試料を固定して回転する走査電子顕微鏡の試料ホルダにおいて、回転軸に平行方向に、試料台の対向する両端部を収容して試料台を保持する少なくとも一組の固定された溝を有し、且つ、該溝に収容された試料台を試料ホルダに押し当てて固定する手段を有し、前記一組の溝間の最大距離が試料台の幅より大きく、該溝間の最小距離が試料台の幅より小さいことを特徴とする走査電子顕微鏡の試料ホルダ。

IPC (2)：

H01J 37/20 ,  G01N 1/28

FI (2)：

H01J 37/20 A ,  G01N 1/28 W

F-Term (3)：

5C001AA01 ,  5C001AA02 ,  5C001CC04