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J-GLOBAL ID：200903045022498079

電子増倍装置

Inventor： 片山 誠
Applicant, Patent owner： 住友電気工業株式会社
Agent (1)： 深見 久郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995217135
Publication number (International publication number)：1997063533
Application date： Aug. 25, 1995
Publication date： Mar. 07, 1997
Summary：

【要約】【課題】 空間分解能が改善された電子増倍装置を提供する。【解決手段】 電子増倍装置はマイクロチャンネルプレート(1)を含み、マイクロチャンネルプレート(1)はエネルギー線(R)を受けて2次電子(e)を増殖させるための少なくとも1つのチャンネル(2)を含み、チャンネル(2)は3〜5μmの範囲内の断面直径(D)を有している。

Claim (excerpt)：

マイクロチャンネルプレートを含む電子増倍装置であって、前記マイクロチャンネルプレートはエネルギー線を受けて2次電子を増殖させるための少なくとも1つのチャンネルを含み、前記チャンネルは3〜5μmの範囲内の断面直径を有していることを特徴とする電子増倍装置。

IPC (3)：

H01J 43/04 ,  G01T 1/28 ,  H01J 1/32

FI (3)：

H01J 43/04 ,  G01T 1/28 ,  H01J 1/32 Z