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J-GLOBAL ID：200903045064275380

感湿素子、その製法およびそれを用いた感湿装置

Inventor： 佐藤 康弘 ,  太田 和三郎 ,  石田 力 ,  藤沢 悦子
Applicant, Patent owner： 株式会社リコー
Agent (1)： 友松 英爾 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993353699
Publication number (International publication number)：1995197237
Application date： Dec. 29, 1993
Publication date： Aug. 01, 1995
Summary：

【要約】【目的】 SnO2薄膜を用いた長寿命、低消費電力、更には低コストな感湿素子、その製法および感湿装置の提供。【構成】 雰囲気中に存在する水分量の変化に対して電気伝導度が変化する金属酸化物半導体薄膜を用いた感湿素子において、前記金属酸化物半導体薄膜が、SnO2微粒子薄膜および/またはSnO2超微粒子薄膜よりなりその平均粒子径が10〜200nmおよび/または平均細孔半径が5〜250nmであることを特徴とする薄膜感湿素子。

Claim (excerpt)：

雰囲気中に存在する水分量の変化に対して電気伝導度が変化する金属酸化物半導体薄膜を用いた感湿素子において、前記金属酸化物半導体薄膜が、SnO2微粒子薄膜および/またはSnO2超微粒子薄膜よりなりその平均粒子径が10〜200nmおよび/または平均細孔半径が5〜250nmであることを特徴とする薄膜感湿素子。

IPC (3)：

C23C 14/08 ,  C23C 14/58 ,  C23C 16/40