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J-GLOBAL ID：200903045065416394

プラズマ反応器

Inventor： 田中 利夫 ,  茂木 完治 ,  香川 謙吉
Applicant, Patent owner： ダイキン工業株式会社
Agent (1)： 前田 弘 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001184515
Publication number (International publication number)：2003001103
Application date： Jun. 19, 2001
Publication date： Jan. 07, 2003
Summary：

【要約】【課題】 放電により低温プラズマを生成してガス処理などを行うプラズマ反応器において、電極板から突出した針電極などの放電部を用いる場合のメンテナンス性を改善する。【解決手段】 放電電極(21)の放電部(21a) を、電極板(21b) から突出する放電位置と基材(21b) 側へ格納される格納位置との間で可動に構成する。

Claim (excerpt)：

略平面状の基材(21b) 上に配置された複数の放電部(21a) を有する第1電極(21)と、該第1電極(21)に対向するように配置された第2電極(22)と、両電極(21,22) に放電電圧を印加するように接続された電源手段(24)とを備え、両電極(21,22) が被処理流体の流通空間に配置され、両電極(21,22) 間で放電を発生させることにより被処理流体を処理するように構成されたプラズマ反応器であって、上記放電部(21a) は、基材(21b) から突出する放電位置と基材(21b) 側へ格納される格納位置との間で可動に構成されていることを特徴とするプラズマ反応器。

IPC (4)：

B01J 19/08 ,  A61L 9/22 ,  B01D 53/32 ,  H05H 1/48

FI (4)：

B01J 19/08 E ,  A61L 9/22 ,  B01D 53/32 ,  H05H 1/48

F-Term (54)：

4C080AA05 ,  4C080AA07 ,  4C080AA09 ,  4C080BB02 ,  4C080BB05 ,  4C080CC01 ,  4C080HH05 ,  4C080JJ03 ,  4C080KK02 ,  4C080KK08 ,  4C080LL10 ,  4C080MM02 ,  4C080MM04 ,  4C080MM05 ,  4C080MM06 ,  4C080MM07 ,  4C080QQ11 ,  4C080QQ17 ,  4G075AA03 ,  4G075AA57 ,  4G075BA01 ,  4G075BA05 ,  4G075BD05 ,  4G075CA15 ,  4G075CA42 ,  4G075CA54 ,  4G075DA02 ,  4G075DA18 ,  4G075EA02 ,  4G075EB01 ,  4G075EB41 ,  4G075EC21 ,  4G075EC30 ,  4G075ED04 ,  4G075ED09 ,  4G075ED13 ,  4G075ED20 ,  4G075EE04 ,  4G075EE05 ,  4G075EE12 ,  4G075EE23 ,  4G075EE33 ,  4G075EE36 ,  4G075EE40 ,  4G075FA01 ,  4G075FA02 ,  4G075FA03 ,  4G075FA08 ,  4G075FA12 ,  4G075FB01 ,  4G075FB02 ,  4G075FC02 ,  4G075FC11 ,  4G075FC15