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J-GLOBAL ID：200903045080539915

表面欠陥検査装置及び表面欠陥検査方法

Inventor： 春名 和幸 ,  岸 一彦
Applicant, Patent owner： 住友金属工業株式会社
Agent (1)： 河野 登夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998051069
Publication number (International publication number)：1999248641
Application date： Mar. 03, 1998
Publication date： Sep. 17, 1999
Summary：

【要約】【課題】 表面欠陥の2次判定の精度を高める。【解決手段】 スキャンカメラ6からの撮像信号が撮像信号記憶部73に常時入力されており、2次元画像が作成される。制御部74は、1次判定による表面欠陥が存在する単位領域がスキャンカメラ6の撮像位置を通過したタイミングをとって、1次判定で検出された表面欠陥に対応する2次元画像の部分を欠陥画像として抽出する。抽出された欠陥画像がデータベースとして保存装置9に保存される。モニタ8は通常は1次判定の結果を表示しているが、オペレータにより2次判定を行なう指示が与えられた際に、指定された表面欠陥に対する欠陥画像が表示され、2次判定が行なわれる。

Claim (excerpt)：

搬送される検査対象の表面欠陥を検出器により検出する1次判定の結果、2次判定が必要である場合に、撮像器により撮像された前記検査対象の撮像信号を用いて2次判定を行なう表面欠陥検査装置において、前記撮像器は、前記検査対象の搬送方向に交わる方向に撮像位置を走査せしめる線走査撮像器であり、前記撮像信号が連続入力されて2次元画像を作成する2次元画像作成部と、前記1次判定により検出された表面欠陥に対応する欠陥画像を前記2次元画像から抽出する欠陥画像抽出部とを備えることを特徴とする表面欠陥検査装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 表面欠陥検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-240118   Applicant：住友金属工業株式会社
• 特開平1-162137