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J-GLOBAL ID:200903045099371713
表裏パターン検査装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
佐藤 成示 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995008623
Publication number (International publication number):1996201035
Application date: Jan. 24, 1995
Publication date: Aug. 09, 1996
Summary:
【要約】【目的】 プリント配線板上の検査箇所を検査装置の撮像領域に容易に、かつ、迅速に位置合わせすることができる作業効率の高い表裏パターン検査装置を提供することにある。【構成】 本発明の表裏パターン検査装置は、プリント配線板7の表面、裏面を撮像する撮像手段1と、それぞれの画像を重ねてプリント配線板7の表裏に描写したパターンの位置ずれを測定する画像処理手段2を有する表裏パターン検査装置において、表面を撮像する撮像手段1aとプリント配線板7の表面8を結ぶ撮像路9の間に半透過屈折手段3を配し、プリント配線板7の撮像領域10を目視確認する目視確認手段4を有することを特徴とする。
Claim (excerpt):
プリント配線板(7)の表面、裏面を撮像する撮像手段(1)と、それぞれの画像を重ねてプリント配線板(7)の表裏に描写したパターンの位置ずれを測定する画像処理手段(2)を有する表裏パターン検査装置において、表面を撮像する撮像手段(1a)とプリント配線板(7)の表面(8)を結ぶ撮像路(9)の間に半透過屈折手段(3)を配し、プリント配線板(7)の撮像領域(10)を目視確認する目視確認手段(4)を有することを特徴とする表裏パターン検査装置。
IPC (3):
G01B 11/24
, G01N 21/00
, G06T 7/00
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
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物体表面の欠陥の光学的検査法とその装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-155362
Applicant:オアボットインストルメンツリミテッド
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特開平3-282302
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