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J-GLOBAL ID：200903045178812695

検査装置用インターフェイスユニット

Inventor：
柳川 誠

About 柳川 誠

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和田 勇二

About 和田 勇二

, 
村寿 圭次

About 村寿 圭次


Applicant, Patent owner：
日立電子エンジニアリング株式会社

About 日立電子エンジニアリング株式会社


Agent (1)： 飯塚 義仁
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998253924
Publication number (International publication number)：2000088920
Application date： Sep. 08, 1998
Publication date： Mar. 31, 2000
Summary：
【要約】【課題】ICデバイスの同時測定数の増加に伴って信号線接続時の不具合を生じないようにし、信頼性の高い信号線接続を確保できるようにする。【解決手段】コンタクトリングはタングステン針を備えたプローブカードに接続されるものであり、このプローブカードに対向する片面側に多数のポゴピンを有し、このポゴピンに電気的に接続されたプレスフィット用のソケットをその反対面側に有する。このプレスフィット用のソケットと同じ構成のソケットがマザーボード側にも設けられている。同軸ケーブルはコンタクトリングの各ソケットとマザーボードの各ソケットとに圧入されることによってコンタクトリングとマザーボードとの間を電気的に接続するプレスフィット端子を有する。従って、同軸ケーブルのプレスフィット端子を所望のコンタクトリング及びマザーボードのソケットに圧入することによって、コンタクトリングとマザーボードとの間を電気的に接続している。このように圧入方式にてコンタクトリングとマザーボードとの間を電気的に接続することによって、はんだ付けによる接続の不具合が発生しない。
Claim (excerpt)：
多数の接続端子を一方の面側に有し、他方の面側に前記接続端子に電気的に接続されたプレスフィット用のソケットを有するコンタクトリングと、前記接続端子のそれぞれに接続されるべき多数の配線を有し、この配線群に電気的に接続されたプレスフィット用の多数のソケットを有するマザーボードと、前記コンタクトリングの各ソケットと前記マザーボードの各ソケットに圧入されることによって前記コンタクトリング上の前記接続端子と前記マザーボード上の前記配線との間を電気的に接続するプレスフィット用の端子を有する同軸ケーブル群とから構成されることを特徴とする検査装置用インターフェイスユニット。
IPC (3)：
G01R 31/28 ,  G01R 1/073 ,  H01L 21/66
FI (3)：
G01R 31/28 K ,  G01R 1/073 E ,  H01L 21/66 B
F-Term (25)：
2G011AA02 ,  2G011AA09 ,  2G011AA17 ,  2G011AB01 ,  2G011AC31 ,  2G011AD01 ,  2G011AE01 ,  2G011AE03 ,  2G011AF04 ,  2G032AA01 ,  2G032AA09 ,  2G032AA10 ,  2G032AF02 ,  2G032AF06 ,  2G032AK03 ,  2G032AK04 ,  2G032AL03 ,  2G032AL11 ,  4M106AA02 ,  4M106BA01 ,  4M106BA14 ,  4M106DD03 ,  4M106DD10 ,  4M106DD30 ,  4M106DJ33
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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