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J-GLOBAL ID：200903045252787649

静電チャック

Inventor： 出口 洋一
Applicant, Patent owner： 東京エレクトロン株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993015971
Publication number (International publication number)：1994204326
Application date： Jan. 05, 1993
Publication date： Jul. 22, 1994
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 静電チャック70の温度経時変化による静電チャックシート20と電極板21又はサセプタ10との夫々の接着部の剥離を抑制する。【構成】 静電チャックシート20に埋設された電極板21と、この間に着接された2つ以上の線膨張率の異なる絶縁膜22,23を重ね合わせた構成で、サセプタ10と電極板21で線膨張率の高い方にそれの高い絶縁膜22,23が設けられ線膨張率の低い方にそれの低い絶縁膜22,23が設けられ、前記2つ以上の絶縁膜の線膨張率はサセプタ10と電極板21の線膨張率の間の値に設定されるよう構成されたものである。

Claim (excerpt)：

サセプタの載置面に被吸着体を静電力で吸着保持するための静電チャックシートを設けた静電チャックにおいて、前記静電チャックシートに埋設された電極板と、前記サセプタと前記電極板間に着接された少なくとも2つ以上の線膨張率の異なる絶縁膜を重ね合わせた静電チャックシートとを備え、前記静電チャックシート線膨張率の異なる絶縁膜は前記サセプタと前記電極板で線膨張率の高い方に線膨張率の高い絶縁膜が設けられ線膨張率の低い方に線膨張率の低い絶縁膜が設けられ、前記2つ以上の絶縁膜の線膨張率は前記サセプタと前記電極板の線膨張率の間の値に設定されるよう構成されたことを特徴とする静電チャック。

IPC (5)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  C23C 14/50 ,  H01L 21/302 ,  H02N 13/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平3-194948
  
• 特開平4-319435
  
• 特開昭59-024656