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J-GLOBAL ID：200903045266964144

六弗化硫黄ガス回収装置

Inventor： 浜野 末信 ,  皆川 忠郎 ,  羽馬 洋之
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 大岩 増雄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001188552
Publication number (International publication number)：2003002621
Application date： Jun. 21, 2001
Publication date： Jan. 08, 2003
Summary：

【要約】【課題】 六弗化硫黄ガスと非凝縮性ガスとの混合ガスから残存非凝縮性ガスの量が少ない六弗化硫黄ガスを回収することができる回収装置を提供すること。【解決手段】 ガス分離膜131により混合ガス中の非凝縮性ガスを分離除去して六弗化硫黄ガスを得るガス分離装置130、およびかくして得た六弗化硫黄ガスに未だ残存する少量の非凝縮性ガスを吸着除去するガス吸着剤210、例えばアルミノ珪酸塩を主成分とする合成ゼオライトを有するガス吸着装置200とを備え、好ましくは上記ガス吸着剤210に付着した六弗化硫黄ガスを脱着させる振動装置240を備えた六弗化硫黄ガス回収装置。

Claim (excerpt)：

六弗化硫黄ガスの透過速度よりも非凝縮性ガスの透過速度の方が大きいガス分離膜を有するガス分離装置、六弗化硫黄ガスの吸着能力よりも非凝縮性ガスの吸着能力の方が大きい吸着剤を有するガス吸着装置を備え、上記六弗化硫黄ガスと上記非凝縮性ガスとの混合ガスを上記ガス分離装置を通した後に上記ガス吸着装置を通して上記混合ガス中の上記六弗化硫黄ガスを回収するようにしたことを特徴とする六弗化硫黄ガス回収装置。

IPC (3)：

C01B 17/45 ,  B01D 53/04 ,  B01D 53/22

FI (3)：

C01B 17/45 G ,  B01D 53/04 B ,  B01D 53/22

F-Term (21)：

4D006GA41 ,  4D006HA41 ,  4D006KA72 ,  4D006KB12 ,  4D006MA03 ,  4D006MC02 ,  4D006MC04 ,  4D006MC37 ,  4D006MC45 ,  4D006MC48 ,  4D006MC58 ,  4D006MC65 ,  4D006PA04 ,  4D006PB70 ,  4D012CA20 ,  4D012CB16 ,  4D012CD07 ,  4D012CG01 ,  4D012CH06 ,  4D012CH08 ,  4D012CK10