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J-GLOBAL ID：200903045287420136
感光性組成物
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
長谷川 一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992045663
Publication number (International publication number)：1993249663
Application date： Mar. 03, 1992
Publication date： Sep. 28, 1993
Summary：
【要約】【構成】それにより形成された感光性組成物膜の露光波長における光学的膜厚が露光処理時に経時的に変化するものであることを特徴とする感光性組成物。【効果】膜内多重反射による影響が少ないため、感光性組成物の塗布膜厚の変動による線幅変動が小さい。
Claim (excerpt)：
それにより形成された感光性組成物膜の露光波長における光学的膜厚が露光処理時に経時的に変化するものであることを特徴とする感光性組成物。
IPC (5)：
G03F 7/004 521
, G03F 7/004 503
, G03F 7/029
, G03F 7/038 505
, H01L 21/027
Cited by examiner (7)
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