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J-GLOBAL ID：200903045297849734

クライオポンプ

Inventor： 大平 勝秀
Applicant, Patent owner： 三菱重工業株式会社
Agent (1)： 坂間 暁 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994140007
Publication number (International publication number)：1996004652
Application date： Jun. 22, 1994
Publication date： Jan. 09, 1996
Summary：

【要約】【目的】 真空排気用のクライオポンプに関し、磁気冷凍機構を設けて温度を4Kレベル以下にして高真空排気を可能にする。【構成】 絶対温度4Kレベルの第三段ヒートステーション23にはシールド24が設けられ、超伝導マグネット25が強磁場を発生する。円筒状容器27内には磁性体28があり、これを摺動可能に貫通するガイドピン34の上,下にヒートスイッチ33,31が固定され、31には小型超伝導マグネット32が設けられている。マグネット25の磁場の印加、除去により、磁性体28が磁気冷凍効果により冷却され、ヒートスイッチ31,33を上下して発生した熱はヒートステーション23に逃し、クライオパネル35の温度を4Kレベル以下に冷却するので低沸点ガスも有効に除去し、高真空となる。

Claim (excerpt)：

ギフォード・マクマホンサイクル等の冷凍サイクルを使用した多段のヒートステーションを有する冷凍機を寒冷発生源とするクライオポンプにおいて、前記冷凍機の絶対温度4Kレベルの第三段ヒートステーションに超伝導マグネットと磁性体とからなる磁気冷凍機構を設置してなることを特徴とするクライオポンプ。

IPC (4)：

F04B 37/08 ,  F25B 9/14 530 ,  F25B 21/00 ,  F25B 25/00