表示スクリーン製造方法及び該方法で製造された表示スクリーン

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：川口義雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991206610
Publication number (International publication number)：1994347821
Application date： May. 15, 1991
Publication date： Dec. 22, 1994
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】蓄積コンデンサを具備した能動マトリクススクリーンを製造する方法と、該方法で製造されたスクリーンを提供する。【構成】マスキング工程を2つしか含まない。第2段階のマスキングを行ない、画素に重なって蓄積コンデンサCsを構成する(専用の、またはアドレス指定行配線としても機能する)容量配線LCを規定する。平面液晶スクリーン表示に適用される。

Claim (excerpt)：

アドレス指定トランジスタと接続された導電ブロックもしくは画素のマトリクスと、蓄積コンデンサと、アドレス指定列配線及びアドレス指定行配線とによって被覆された第1のプレート、及び対極によって被覆された第2のプレートを含む表示スクリーンを製造する方法であって、第1のプレートを製造するために非導電基板上に透明な導電材料の膜をデポジットし、デポジットした透明導電材料膜に第1段階のマスキングを介して第1のエッチングを施して(列配線延長部と呼称される延長部を場合により具えた)アドレス指定列配線及びブロックマトリクスを形成し、各ブロックにはアドレス指定列配線(または対応する列配線延長部)の近傍に位置する、ブロック延長部と呼称される延長部を少なくとも1つ設け、前記エッチング後のユニット上に半導電材料膜、非導電材料膜及び導電材料膜を層状にデポジットし、得られた三層構造の材料膜に第2段階のマスキングを介して第2のエッチングを施し、それによって(行配線延長部と呼称される延長部を場合により具えた)アドレス指定行配線を、該行配線(または行配線延長部)が列配線(または対応する列配線延長部)及びブロック延長部に重なってアドレス指定トランジスタを構成するように形成し、第2のエッチングでアドレス指定行配線と平行に、ブロック行を構成する各ブロックの一部に重なる容量配線を形成し、容量配線は重なったブロック部分と共働して当該ブロックに関連する蓄積コンデンサを構成する表示スクリーン製造方法。

IPC (3)：

G02F 1/136 500 , G02F 1/1343 , H01L 29/784

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

特開平2-033131
特開昭64-073324
特開平1-137238

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