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J-GLOBAL ID：200903045315586355
電子サイクロトロン共鳴プラズマ発生装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
松本 英俊
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991198088
Publication number (International publication number)：1993041293
Application date： Aug. 07, 1991
Publication date： Feb. 19, 1993
Summary：
【要約】【目的】プラズマ室を構成するベルジャーの内面に金属薄膜が形成されるのを防ぎ、長期間に亘る使用を可能にする。【構成】円筒導波管103のフランジ部103aとメインチャンバーに取り付けたフランジ金具102との間に、両者に対して絶縁された終端部材110とマイクロは導入板111とを配置し、これらをフランジ金具102に対して固定する。円筒導波管103内に配置したベルジャーを終端部材110により支持し、終端部材110に設けた環状の板部110aにより、フランジ金具102の内周部とイオン引出し電極106の外周部との間の領域をベルジャー105内の空間から遮蔽する。マイクロ波導入板111と円筒導波管のフランジ部103aとの間にチョークを構成する。
Claim (excerpt)：
環状のフランジ金具が取付けられた開口部を有し、該フランジ金具の内側の孔部をイオン導入孔部としたメインチャンバーと、端部に有するフランジ部の中心軸線が前記イオン導入孔部の中心軸線と一致するように配置されて、該フランジ部が前記フランジ金具に固定された円筒導波管と、開口端部を前記フランジ金具側に向けた状態で前記円筒導波管内に配置されたベルジャーと、互いに対向配置された高圧電極と接地電極とからなっていて、高圧電極を円筒導波管側に向けた状態で前記イオン導入孔部内に配置されたイオン引出し電極とを備えた電子サイクロトロン共鳴プラズマ発生装置において、前記フランジ金具の内周部と高圧電極の外周部との間の領域を、前記ベルジャー内のプラズマ発生空間から遮るように設けられた、前記円筒導波管の径方向に拡がる環状の板部を有する終端部材と、前記円筒導波管の内径に等しい内径を有していて一部を前記終端部材の一部に当接させた状態で円筒導波管の端部のフランジ部の内部の空間に配置された環状のマイクロ波導入板とを具備し、前記終端部材及びマイクロ波導入板は前記フランジ金具と高圧電極と円筒導波管とに対して直流的に絶縁された状態で前記フランジ金具に対して固定され、前記ベルジャーはその端部が前記終端部材に支持され、前記マイクロ波導入板と前記円筒導波管のフランジ部との間にチョークが構成されていることを特徴とする電子サイクロトロン共鳴プラズマ発生装置。
IPC (3)：
H05H 1/46
, C23C 16/50
, H01L 21/302
