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J-GLOBAL ID：200903045320679523

層の構造化方法

Inventor： マンフレート エンゲルハルト
Applicant, Patent owner： シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト
Agent (1)： 富村 潔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992306400
Publication number (International publication number)：1993206073
Application date： Oct. 19, 1992
Publication date： Aug. 13, 1993
Summary：

【要約】【目的】 ゲート酸化物層上に配設されているポリシリコン層を構造化する。【構成】 他の物質からなる下部層上に配設されている層を構造化するためにプラズマエッチング処理によりエッチング反応器1内に下部層の材料からなるターゲット14を配設する。エッチング処理は、この材料を下部層の表面上にほぼ下部層がエッチング処理により除去されるように堆積するようにして行われる。

Claim (excerpt)：

異方性プラズマエッチング処理を少なくともウェハホルダ(4)及びこのウェハホルダ(4)を環状に囲む環状電極(10)を有するエッチング反応器(1)内で行い、またその反応器にウェハホルダ(4)及び環状電極(10)を介して周波数の異なる2つのRF電力が互いに独立して印加され、構造化すべき層の材料とは異なる材料からなる少なくとも1つの下部層及び構造化すべき層を含んでいる層構造(8)を有する基板(7)がエッチング反応器(1)内に装入され、エッチング反応器(1)内に下部層の材料を含むターゲット(14)が備えられ、RF電力を環状電極(10)で上記材料がターゲット(14)からスパッタリングされるように調整するとともに、この材料がエッチング処理中に露出される下部層の表面上にエッチング処理により主として下部層が作用を受けるように堆積するように調整することを特徴とする層の構造化方法。

IPC (2)：

H01L 21/302 ,  H01L 21/28

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭62-099482
  
• 特許第429251号
  
• 特開平2-292823
  
• 特許第5182495号