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J-GLOBAL ID：200903045323828007

ロールコート用感放射線性樹脂溶液組成物

Inventor： 宮本 秀俊 ,  宮下 聡 ,  勇元 喜次 ,  三浦 孝夫
Applicant, Patent owner： 日本合成ゴム株式会社
Agent (1)： 大島 正孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992100154
Publication number (International publication number)：1993273750
Application date： Mar. 27, 1992
Publication date： Oct. 22, 1993
Summary：

【要約】【目的】 高感度で高解像度であり、かつロールコーターによる塗布性に優れたポジ型レジストを得ることができるロールコート用感放射線性樹脂溶液組成物を提供すること。【構成】 アルカリ可溶性ノボラック樹脂、1,2-キノンジアジド化合物、および2-ヒドロキシプロピオン酸エチルを主成分とする溶剤を含有するロールコート用感放射線性樹脂溶液組成物

Claim (excerpt)：

アルカリ可溶性樹脂、1,2-キノンジアジド化合物および2-ヒドロキシプロピオン酸エチルを含有して成りそして20°Cにおける粘度が15〜60センチポイズの間にあることを特徴とするロールコート用感放射線性樹脂溶液組成物。

IPC (2)：

G03F 7/022 ,  G03F 7/004 521

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開平1-293340
  
• 特開平3-185448
  
• 特開昭62-036657
  
• 特開平2-010350
  
• 特開平1-189644