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J-GLOBAL ID:200903045346307101

光ビーム出射角度制御装置及び光ビーム出射位置制御装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 西村 征生
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996184696
Publication number (International publication number):1998031167
Application date: Jul. 15, 1996
Publication date: Feb. 03, 1998
Summary:
【要約】【課題】 出射光ビームの角度制御や位置制御を高精度に行う。【解決手段】 開示される光ビーム出射角度制御装置は、光送信部12、駆動機構部13、レンズ15、4象限検出器11、演算部17及びドライバ部18からなる。4象限検出器11は、駆動機構部13でその角度が変更され、レンズ15で集光された光ビームを4分割光検出器で受光して電気信号に変換後、演算により光ビームの入射位置を検出し、位置検出信号を出力する。位置検出信号の光ビームの入射位置に対する特性は、予め測定され、測定結果から関係式が求められ演算部17の記憶手段に記憶される。演算部17は出力特性補正部で記憶手段に記憶された関係式に基づき位置検出信号の特性を補正し、比較器で出力特性補正部の出力信号と光ビームの制御すべき角度を表す指令値信号とを比較し誤差信号を出力する。ドライバ部18は誤差信号に基づき駆動機構部13を駆動する。
Claim (excerpt):
光ビームを出射する光送信部と、前記光ビームの角度を変更する駆動機構部と、前記駆動機構部によって角度が変更された光ビームを所定の焦点位置に結像させるレンズと、前記焦点位置にその受光面が設けられ、前記結像された光ビームを4分割してそれぞれの光強度を電気信号に変換する4個の受光素子からなる4分割光検出器を備え、前記4つの電気信号から前記光ビームの入射位置を検出し、位置検出信号を出力する4象限検出器と、前記位置検出信号の前記光ビームの入射位置に対する特性を予め測定して得られた結果又はこの結果から求められる関係式が記憶される記憶手段と、前記記憶手段に記憶された前記結果又は前記関係式に基づいて前記位置検出信号の特性を補正する出力特性補正部と、前記出力特性補正部の出力信号と前記光ビームの制御すべき角度を表す指令値信号とを比較し、誤差信号を出力する比較器とを備えた演算部と、前記誤差信号に基づいて前記駆動機構部を駆動するドライバ部とを備えてなることを特徴とする光ビーム出射角度制御装置。

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