感光性樹脂組成物およびそれを用いたドライフィルムレジスト

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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002106138
Publication number (International publication number)：2003302751
Application date： Apr. 09, 2002
Publication date： Oct. 24, 2003
Summary：

【要約】【課題】感光性および難燃性をゆうし、充分な機械強度を有しつつ、耐熱性に優れ、更に加工性、接着性に優れた感光性樹脂組成物及びそれを用いた感光性ドライフィルムレジストを提供することを目的とする。【解決手段】(a)分子中に、ビニル基、アリル基、アクリロイルオキシ基、メタクリロイルオキシ基、アクリロイル基、メタクリロイル基から選ばれる重合性官能基を少なくとも1個有するホスファゼン化合物、(b)可溶性ポリイミド、c)炭素-炭素二重結合を有する化合物、(d)光反応開始剤を含有する感光性樹脂組成物を用いることにより、上記問題を解決することが出来る。

Claim (excerpt)：

a)分子中に、ビニル基、アリル基、アクリロイルオキシ基、メタクリロイルオキシ基、アクリロイル基、メタクリロイル基から選ばれる重合性官能基を少なくとも1個有するホスファゼン化合物、b)可溶性ポリイミドを必須成分とする感光性樹脂組成物。

IPC (10)：

G03F 7/004 501 , G03F 7/004 512 , C08F 2/44 , C08F283/00 , C08F290/10 , G03F 7/027 502 , G03F 7/037 501 , G03F 7/038 504 , G03F 7/075 511 , G03F 7/075 521

FI (10)：

G03F 7/004 501 , G03F 7/004 512 , C08F 2/44 C , C08F283/00 , C08F290/10 , G03F 7/027 502 , G03F 7/037 501 , G03F 7/038 504 , G03F 7/075 511 , G03F 7/075 521

F-Term (38)：

2H025AA10 , 2H025AB11 , 2H025AB15 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC14 , 2H025BC32 , 2H025BC42 , 2H025BC69 , 2H025CA01 , 2H025CA20 , 2H025CA27 , 2H025CA28 , 2H025CB25 , 2H025CC20 , 2H025EA08 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 4J011PA97 , 4J011SA21 , 4J011SA22 , 4J011SA31 , 4J011SA63 , 4J011SA64 , 4J011SA76 , 4J011SA84 , 4J026AB34 , 4J026BA41 , 4J026DA02 , 4J027AH03 , 4J027BA07 , 4J027BA19 , 4J027BA20 , 4J027BA24 , 4J027BA27 , 4J027CB03 , 4J027CB10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

組成物とそれを用いた感光性組成物及びカバーレイフィルム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-191757 Applicant：鐘淵化学工業株式会社
感光性ポリイミドシロキサン、組成物および絶縁膜
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-046122 Applicant：宇部興産株式会社
難燃剤、及び難燃性樹脂組成物、及び成形物、及び電子部品
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-358220 Applicant：大塚化学株式会社

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