Pat

J-GLOBAL ID：200903045379436993

薄膜ELパネル

Inventor： 岩城 隆彦
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992010708
Publication number (International publication number)：1993205874
Application date： Jan. 24, 1992
Publication date： Aug. 13, 1993
Summary：

【要約】【目的】 薄膜ELパネルの背面電極接続部の電気抵抗を低減し、信頼性を向上させる。【構成】 ガラス基板1の上にITO電極層2を成膜パターニングし、その上に第一誘電体層3、発光体層4、第二誘電体層5を作製する。つぎにクロム、ニッケルをメタルマスクを用いて蒸着し、フォトリソグラフ法とエッチングにより外部導出電極6を形成する。つぎに背面電極7をアルミニウムを所定の領域に成膜し、フォトリソグラフィーによりパターン形成後エッチングして形成する。この構成によれば、成膜領域の周辺部分は、ガラス基板面にテーパーを有して形成され、このテーパー部分で背面電極と接続することにより、接続部分の抵抗が低下し信頼性が向上する。

Claim (excerpt)：

電気絶縁性透明基板上に透明電極を形成し、前記透明電極を覆う第一誘電体層、発光体層、第二誘電体層を順次積層し、前記第二誘電体層の周辺部に外部導出電極を形成し、前記第二誘電体層と前記外部導出電極を覆う背面電極を有し、前記第一誘電体層、発光体層および第二誘電体層の成膜領域周囲を前記基板表面に対してテーパー状に形成し、前記テーパー部分に形成した前記外部導出電極と前記背面電極とを接続した薄膜ELパネル。