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J-GLOBAL ID：200903045398403516

感光性ポリイミド用現像液

Inventor： 田中 明 ,  田崎 聡 ,  坂本 圭 ,  米田 泰博 ,  横内 貴志男 ,  山本 昌英 ,  石月 義克
Applicant, Patent owner： 日本ゼオン株式会社 ,  富士通株式会社
Agent (1)： 西川 繁明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995169226
Publication number (International publication number)：1996339089
Application date： Jun. 12, 1995
Publication date： Dec. 24, 1996
Summary：

【要約】【目的】 感度、解像性、パターン形状などの諸特性に優れたパターンを与えることができる感光性ポリイミド用現像液を提供すること。【構成】 双極構造を有する非プロトン性極性溶媒、及び感光性ポリイミドに対する貧溶媒を含有する感光性ポリイミド用現像液において、双極構造を有する非プロトン性極性溶媒としてN,N-ジメチルアクリルアミドを用いたことを特徴とする感光性ポリイミド用現像液。

Claim (excerpt)：

双極構造を有する非プロトン性極性溶媒、及び感光性ポリイミドに対する貧溶媒を含有する感光性ポリイミド用現像液において、双極構造を有する非プロトン性極性溶媒としてN,N-ジメチルアクリルアミドを用いたことを特徴とする感光性ポリイミド用現像液。

IPC (3)：

G03F 7/32 ,  G03F 7/027 514 ,  H01L 21/027

FI (3)：

G03F 7/32 ,  G03F 7/027 514 ,  H01L 21/30 569 E