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J-GLOBAL ID：200903045496112015

セラミックス微粒子の製造方法

Inventor： 市川 洋 ,  飯島 賢二 ,  北川 雅俊
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 滝本 智之 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997295116
Publication number (International publication number)：1999128730
Application date： Oct. 28, 1997
Publication date： May. 18, 1999
Summary：

【要約】【課題】 短時間で、均一にセラミックスの超微粒子を作製する方法の提供。【解決手段】 ガラス基板1上に、アモルファスセラミックス膜2を堆積し、その後、波長248nmのKrFエキシマレーザーパルス3を照射して、膜2内に、セラミックス超微粒子を作製する。

Claim (excerpt)：

パルス幅1μsec以下のレーザーパルス光を非晶質セラミックスに照射するセラミックス微粒子の製造方法。

IPC (4)：

B01J 19/12 ,  C04B 35/626 ,  H03H 3/08 ,  H03H 9/25

FI (4)：

B01J 19/12 H ,  H03H 3/08 ,  H03H 9/25 C ,  C04B 35/00 A