基板搬送装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：大森純一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001215905
Publication number (International publication number)：2003031637
Application date： Jul. 16, 2001
Publication date： Jan. 31, 2003
Summary：

【要約】【課題】緩衝用の搬送装置のフットプリントを可及的に小さくすることができる基板搬送装置を提供すること。【解決手段】 1枚の基板G1が第1の搬送部と第3の搬送部とにまたがって搬送されているときであって、第1の搬送部A1上にある当該1枚の基板の面積よりも第3の搬送部A3上にある面積が大きくなったときに、第3及び第2の搬送部A3及びA2をリフトアップするとともに、第3の搬送部A3の搬送速度を第1の搬送部A1による搬送速度V1から第2の搬送部A2による搬送速度と同じV2に変える。これにより、小さいフットプリントで緩衝用の搬送部である第3の搬送部A3を設けることができる。

Claim (excerpt)：

回転する複数のローラ上に基板を載置させて基板を搬送させる第1の搬送部と、回転する複数のローラ上に基板を載置させて、前記第1の搬送部の搬送速度と異なる速度で基板を搬送させる第2の搬送部と、前記第1の搬送部と前記第2の搬送部との間に接続して配置され、搬送方向の長さが基板の搬送方向1辺より短い長さを有し、回転する複数のローラ上に基板を載置させて、前記第1の搬送部から搬送される基板を前記第2の搬送部へ搬送させる第3の搬送部と、1枚の基板が前記第1の搬送部と前記第3の搬送部とにまたがって搬送されているときであって、前記1枚の基板の前記第1の搬送部のローラ上にある面積よりも前記第3の搬送部のローラ上にある面積が大くなったときに、前記第3の搬送部を前記第2の搬送部に接続させた状態で前記第1の搬送部から離間させる手段とを具備することを特徴とする基板搬送装置。

IPC (9)：

H01L 21/68 , B65G 13/04 , B65G 47/52 , B65G 49/06 , B65G 49/07 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500 , G03F 7/20 501 , H01L 21/027

FI (10)：

H01L 21/68 A , B65G 13/04 , B65G 47/52 A , B65G 49/06 Z , B65G 49/07 B , G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500 , G03F 7/20 501 , H01L 21/30 502 J , H01L 21/30 562

F-Term (59)：

2H088FA17 , 2H088FA21 , 2H088FA24 , 2H088FA30 , 2H088HA01 , 2H088MA20 , 2H090JA06 , 2H090JB02 , 2H090JC07 , 2H090JC08 , 2H090JC19 , 2H097DB20 , 2H097LA12 , 3F033BA01 , 3F033BA02 , 3F033BB14 , 3F033BC03 , 3F033BC07 , 3F033BC09 , 3F044AA13 , 3F044AB03 , 3F044AB10 , 3F044AB23 , 3F044CA05 , 3F044CA10 , 3F044CD08 , 5F031CA05 , 5F031FA02 , 5F031FA11 , 5F031FA12 , 5F031FA14 , 5F031GA02 , 5F031GA47 , 5F031GA48 , 5F031GA49 , 5F031GA53 , 5F031GA57 , 5F031HA05 , 5F031HA33 , 5F031HA48 , 5F031HA57 , 5F031HA58 , 5F031HA60 , 5F031JA06 , 5F031JA22 , 5F031JA36 , 5F031LA13 , 5F031LA14 , 5F031MA02 , 5F031MA03 , 5F031MA06 , 5F031MA23 , 5F031MA24 , 5F031MA26 , 5F031PA02 , 5F046AA17 , 5F046CD01 , 5F046CD03 , 5F046CD06

Return to Previous Page