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J-GLOBAL ID：200903045499027663

ウェハ貼着用粘着シートおよびウェハダイシング方法

Inventor： 妹 尾 秀 男 ,  細 野 茂 ,  峯 浦 芳 久 ,  小 暮 正 男
Applicant, Patent owner： リンテック株式会社
Agent (1)： 鈴木 俊一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991321836
Publication number (International publication number)：1993156214
Application date： Dec. 05, 1991
Publication date： Jun. 22, 1993
Summary：

【要約】【構成】 ウェハダイシング用粘着テープにおいて、基材フィルムとして、エチレン・メチルメタアクリレート共重合体フィルムを用いる。【効果】 ウェハダイシング時に発生するダイシング屑の量を低減させることができる。

Claim (excerpt)：

基材フィルムと粘着剤層とからなるウェハ貼着用粘着シートにおいて、基材フィルムが、エチレン・メチルメタアクリレート共重合体フィルムであることを特徴とするウェハ貼着用粘着シート。

IPC (3)：

C09J 7/02 JHU ,  C09J 7/02 JLE ,  H01L 21/78