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J-GLOBAL ID：200903045523253459

基板検査装置

Inventor： 安田 守 ,  佐藤 靖 ,  藤崎 暢夫
Applicant, Patent owner： オリンパス株式会社
Agent (4)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  村松 貞男 ,  風間 鉄也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003074039
Publication number (International publication number)：2004279335
Application date： Mar. 18, 2003
Publication date： Oct. 07, 2004
Summary：

【課題】ガラス基板の撓みや振動を抑えて正確な基板検査を行うこと。【解決手段】各平面浮上ブロック31、32から吹出されるエアーにより浮上していてるガラス基板28の両端部辺を各ガラス駆動ステージ26、27上に吸着固定し、これらガラス駆動ステージ26、27の駆動によってガラス基板28を高速移動する。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

基板を浮上させる浮上ブロックと、 前記浮上ブロック上で浮上した前記基板の両端を吸着保持して一方向に前記基板を搬送する基板搬送部と、 前記基板搬送部の搬送方向と交差するように前記浮上ブロックに形成した開口部と、 前記開口部に沿って移動可能に設けられ、前記基板を拡大観察する顕微鏡用対物レンズと、 前記顕微鏡用対物レンズに対峙して設けられ、前記基板を透過照明する照明部と、 前記対物レンズの少なくとも観察領域の周辺にエアーを吹上げて前記基板を水平に保持するエアー保持手段と、 を具備したことを特徴とする基板検査装置。

IPC (4)：

G01N21/958 ,  G01N21/84 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1333

FI (4)：

G01N21/958 ,  G01N21/84 C ,  G02F1/13 101 ,  G02F1/1333 500

F-Term (19)：

2G051AA42 ,  2G051AA51 ,  2G051AA90 ,  2G051AB02 ,  2G051AC22 ,  2G051CA04 ,  2G051CA11 ,  2G051CA20 ,  2G051CB02 ,  2G051DA07 ,  2H088FA11 ,  2H088FA17 ,  2H088HA01 ,  2H090JB02 ,  2H090JC18 ,  5C012AA09 ,  5C012BE03 ,  5C040JA26 ,  5C040JA34