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J-GLOBAL ID：200903045528187187

パーティクルセンサーヘッド

Inventor： 仲田 重範 ,  神谷 誠作
Applicant, Patent owner： ウシオ電機株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993199889
Publication number (International publication number)：1995035678
Application date： Jul. 20, 1993
Publication date： Feb. 07, 1995
Summary：

【要約】【目的】 散乱光方式の粒子検出手段において、散乱光を捕捉する効率が変化することなくセンサー自身の高性能化、光検出器自身が発生するパルス性ノイズに起因する粒子検出時のバックグラウンドカウントの低減、また製造コストの低減を実現可能にしたセンサーヘッドを提供することにある。【構成】軸線方向に長くてパーティクルが進入する取入口を側部に有する筒状のケーシング内に、光源と、この光源から放射された光をビーム形状に成形する光学系と、このビーム光の進む方向とパーティクルが進入する方向で形成される仮想面と対面する2面のうちの1面に配置されビーム光が取入口から進入したパーティクルに衝突して発生する散乱光が検出される光検出器と、該光検出器の対面に配置され散乱光を反射して該光検出器に集光するシリンドリカルミラーと、ビーム光を受け止めるビームストッパーとを配置することによって構成される。

Claim (excerpt)：

軸線方向に長くてパーティクルが進入する取入口を側部に有する筒状のケーシング内に、光源と、この光源から放射された光をビーム形状に成形する光学系と、このビーム光の進む方向とパーティクルが進入する方向で形成される仮想面と対面する2面のうちの1面に配置されビーム光が取入口から進入したパーティクルに衝突して発生する散乱光が検出される光検出器と、該光検出器の対面に配置され散乱光を反射して該光検出器に集光するシリンドリカルミラーと、ビームを受け止めるビームストッパーによって構成されるパーティクルセンサーヘッド。