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J-GLOBAL ID：200903045534362039

真空装置用構造材料および真空装置用構造部材

Inventor： 佐草 信之 ,  長谷川 努 ,  長島 成行 ,  小崎 寛夫 ,  諏訪 秀則 ,  菊池 正志 ,  森 勝彦 ,  新井 進 ,  清水 康男 ,  平田 正順 ,  小形 英之
Applicant, Patent owner： 日本真空技術株式会社
Agent (1)： 飯阪 泰雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995182122
Publication number (International publication number)：1997010577
Application date： Jun. 26, 1995
Publication date： Jan. 14, 1997
Summary：

【要約】[目的] プラズマ放電によって励起された含ハロゲン系のエッチングガスに対して耐食性の優れた真空装置用構造材料を提供すること。[構成] 耐食性シャワープレート71はNi基耐食性合金からなる厚さ4mmの板材74の全面がボルト孔72とガス整流孔73との部分も含めて厚さ1.3mmのアルミニウム(A5052)で被覆されており、被覆アルミニウムの表面には陽極酸化による厚さ20μmの酸化アルミニウム層76が形成されている。

Claim (excerpt)：

ニッケル基の耐食性合金、ステンレス鋼、鋼、ニッケル、チタン等の母材となる金属の少なくとも一面を溶射以外の方法によってアルミニウムまたはアルミニウム合金で被覆したアルミニウム被覆金属の被覆アルミニウムの表面に酸化アルミニウム層、または酸化アルミニウムを介在させまたは介在させずにフッ化アルミニウム層が形成されていることを特徴とする真空装置用構造材料。

IPC (8)：

B01J 3/00 ,  C23C 2/12 ,  C23C 14/00 ,  C23C 16/44 ,  C23C 16/54 ,  C23C 26/00 ,  C23C 28/00 ,  H01L 21/205

FI (8)：

B01J 3/00 K ,  C23C 2/12 ,  C23C 14/00 C ,  C23C 16/44 B ,  C23C 16/54 ,  C23C 26/00 Z ,  C23C 28/00 B ,  H01L 21/205