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J-GLOBAL ID：200903045548361078

検査装置

Inventor： 芳賀 一実
Applicant, Patent owner： 芳賀 一実 ,  株式会社レイテックス
Agent (1)： 落合 稔 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992187450
Publication number (International publication number)：1994003625
Application date： Jun. 23, 1992
Publication date： Jan. 14, 1994
Summary：

【要約】【目的】 試料表面の状態が実時間でしかも正確に観測できる検査装置を提供する。【構成】 試料に対して光を照射し、その透過光または反射光を光学素子によって集束し、その直後で前記試料の観測を行うように構成された検査装置において、前記光学素子の後像空間焦平面またはその近傍に開口絞りを設置したものである。

Claim (excerpt)：

試料に対して光を照射し、その透過光または反射光を光学素子によって集束し、その直後で前記試料の観測を行うように構成された検査装置において、前記光学素子の後像空間焦平面またはその近傍に開口絞りを設置したことを特徴とする検査装置。

IPC (3)：

G02B 27/54 ,  G01N 21/01 ,  G01N 21/45