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J-GLOBAL ID：200903045593182095

圧力センサー及びその製造方法

Inventor： 黒沢 龍一 ,  岩本 修 ,  北村 文孝
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 鈴木 喜三郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994199748
Publication number (International publication number)：1996062078
Application date： Aug. 24, 1994
Publication date： Mar. 08, 1996
Summary：

【要約】【目的】 半導体圧力センサーにおいて、出力を大きくし、耐圧特性及び出力特性を安定させること。また、微小圧力から大きな圧力まで連続して測定できること。【構成】 基板2に設けられた第1の空洞部3、基板2の内部に形成された第2の空洞部5、基板2に積層された薄肉部44の一部で形成され圧力を感知するダイヤフラム4を具備する。第2の空洞部5は、不純物の拡散層をエッチングにより除去することにより形成し、この第2の空洞部5を楕円形などの任意形状にすることによりダイヤフラム4の形状は上方から見て楕円形などの任意形状とすることができる。第1の空洞部3は、異方性エッチングにより形成する。また、基板2と第2の基板16は陽極接合により接合する。

Claim (excerpt)：

基板上に積層された薄肉部の変位により圧力を検出する圧力センサーにおいて、前記基板の前記薄肉部が積層された面と反対側の面に開口を有する第1の空洞部と、前記第1の空洞部と連通し、かつ前記薄肉部と接すると共に、前記薄肉部と接する領域の面積が前記第1の空洞部との連通部の開口面積よりも大となる形状を有する第2の空洞部とを、前記基板の内部に形成することを特徴とする圧力センサー。

IPC (2)：

G01L 9/12 ,  H01L 29/84