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J-GLOBAL ID：200903045604514192
ガス軸受を有する支持装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
浅村 皓 (外3名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1999509571
Publication number (International publication number)：2001503203
Application date： Jul. 02, 1998
Publication date： Mar. 06, 2001
Summary：
【要約】第一の部分(69)、第二の部分(71)および、第二の部分を第一の部分に対して支持方向(Z)に平行に支持するガス式ばね(73)を設けた支持装置(53)である。ガス式ばね(73)は圧力チャンバー(75)を具え、この圧力チャンバーは中間部分(79)内に設けられ、この中間部分(79)内を支持方向に平行に変位可能なピストン(81)によって仕切られ、かつ静圧ガス軸受(85)により支持方向に垂直に支持される。支持方向に平行な方向における支持装置の剛性は、それゆえガス式ばねの剛性によってほぼ完全に決定され、ガス式ばねを適切に設計することにより低剛性を達成することができる。第一の部分から第二の部分への、支持方向に平行な方向への振動の伝達を実質的に防ぐ。特別な実施形態において、中間部分は第二の静圧ガス軸受(103)によって第一の部分(69)の支持面(105)上を、支持方向に平行に変位可能である。その結果、本支持装置は支持方向に垂直な方向にはほぼ0の剛性を有し、そのため第一の部分から第二の部分への、支持方向に垂直な方向への振動の伝達をほぼ完全に防ぐ。本支持装置は、リソグラフィ装置に、その基部(37)に対してフレーム(39)を支持するために用いられ、フレーム(39)は焦点合わせユニット(5)を支持する。
Claim (excerpt)：
第一の部分と、第二の部分と、前記第二の部分を前記第一の部分に対して支 持方向に平行に支持するための、圧力チャンバーを有するガス式ばねと、前記 第一の部分から前記第二の部分への振動の伝達を防ぐ手段とを設けた支持装置 において、前記圧力チャンバーが当該支持装置の中間部分の円筒状の内壁およ びピストンによって仕切られ、前記ピストンは前記中間部分内を前記支持方向 に平行に変位可能であり、かつ、前記中間部分の内壁と当該ピストンの外壁と の間に設けた静圧ガス軸受によって、前記支持方向に垂直な方向に前記中間部 分に対して支持され、前記中間部分は前記支持方向に平行に前記第一の部分に よって支持され、一方前記ピストンは前記第二の部分に締結されることを特徴 とする支持装置。
IPC (4)：
H01L 21/027
, F16C 32/06
, G03F 7/20 521
, F16F 15/04
H01L 21/30 503 F
, F16C 32/06 Z
, G03F 7/20 521
, F16F 15/04 N
