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J-GLOBAL ID：200903045614426399

導電性反射防止膜

Inventor： 小澤 直樹
Applicant, Patent owner： 富士写真光機株式会社
Agent (1)： 臼村 文男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993225096
Publication number (International publication number)：1995056004
Application date： Aug. 17, 1993
Publication date： Mar. 03, 1995
Summary：

【要約】【目的】 基板上に中屈折率層M/高屈折率層H1/低屈折率層L1/高屈折率層H2/低屈折率層L2を積層して導電性反射防止膜とすることにより、基板の屈折率にかかわらず広波長域で反射防止効果を得る。【構成】 基板側から、屈折率1.5〜1.8のAl2O3等の中屈折率層M、1.8〜2.6の高屈折率層H1、1.35〜1.5のMgF2等の低屈折率層L1、1.8〜2.6の高屈折率層H2、1.35〜1.5の低屈折率層L2を積層し、高屈折率層の少なくとも1層をIn2O3等の透明導電膜から形成した導電性反射防止膜。

Claim (excerpt)：

基板側から、下記(a)〜(e)の各薄膜を順次積層し、第1および第2の高屈折率薄膜の少なくともいずれか一方を透明導電膜としたことを特徴とする導電性反射防止膜。(a) 屈折率1.5〜1.8の中屈折率薄膜、(b) 屈折率1.8〜2.6の第1の高屈折率薄膜、(c) 屈折率1.35〜1.5の第1の低屈折率薄膜、(d) 屈折率1.8〜2.6の第2の高屈折率薄膜、(e) 屈折率1.35〜1.5の第2の低屈折率薄膜。

IPC (3)：

G02B 1/11 ,  H01J 29/88 ,  H01J 29/89

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平3-116101
  
• 特開平3-094201
  
• 特開昭60-029701
  
• 特開昭61-168899