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J-GLOBAL ID：200903045643483385

スパッタ装置

Inventor： 森 重哉 ,  杉山 春男
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝 ,  日本真空技術株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992022580
Publication number (International publication number)：1993222524
Application date： Feb. 07, 1992
Publication date： Aug. 31, 1993
Summary：

【要約】【目的】本発明はタ-ゲットの交換が容易であり、かつ不純物汚染が発生しないスパッタ装置を提供することを目的とする。【構成】チャンバ-11内の下方に配置されたマグネット電極14上には、バッキングプレ-ト15及びタ-ゲット17が載置されている。タ-ゲット17の外周部はタ-ゲット押え18により固定されている。バッキングプレ-ト15の中央部はセンタ-ボルト16によりマグネット電極14に固定され、タ-ゲット17は裏面中央から開けられた表面に貫通しないネジ穴とのセンタ-ボルト16との噛み合わせによりバッキングプレ-ト15の中央に固定されている。

Claim (excerpt)：

チャンバ-と、該チャンバ-内に設けられたウェハ支持具と、上記チャンバ-内に上記ウェハー支持具と対向して設けられたマグネット電極と、該マグネット電極上に設けられたバッキングプレ-トと、該バッキングプレ-ト上に設けられかつ平坦な表面を有するタ-ゲットと、上記バッキングプレ-トの中央を上記マグネット電極に固定しかつ上記タ-ゲットの中央を上記バッキングプレ-トに固定するためのセンタ-ボルトと、上記タ-ゲットの外周を固定するタ-ゲット押えとを具備するスパッタ装置。

IPC (3)：

C23C 14/34 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/31

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭62-013570
  
• 特公平2-013025
  
• 特公昭59-049308